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    声表面波温度传感器的仿真与设计 收藏

    期刊: 压电与声光 刊期: 2014年第1期 作者: 吴展翔 阅读量: 3288

    利用有限元软件COMSOL对声表面波温度传感器进行仿真。声表面波温度传感器基底材料为YX -切石英单晶,并在石英上镀Zn0薄膜,叉指换能器和反射栅采用铝电极。通过仿真研究了叉指换能器的高度、金属化率变化对声表面波温度传感器性能的影响,并根据仿真结果设计和制作了一种镀Zn0薄膜的SAW温度传感器。测试结果表明,制作的传感器灵敏度较高(8.8 kHz]℃),误差小,具备良好的温度一频率特性 展开

    声表面波 温度传感器 Zn0薄膜 叉指换能器 COMSOL

    四硼酸锂在高频窄带滤波器上的应用探讨 收藏

    期刊: 压电与声光 刊期: 2014年第1期 作者: 杨丽萍 阅读量: 1083

    该文采用四硼酸锂晶片制作了高频(1.1 GHz)声表面波滤波器,插入损耗3.7 dB,带宽3.8 MHz,带外抑制大于50 dB。阐述了器件的设计及工艺过程,对晶片表面处理、器件制作、Si02?;つ?、器件的温度特性等进行了实验分析,并讨论了在器件设计中需考虑的因素。实验结果表明,采用干法刻蚀工艺能获得良好的叉指电极形貌。在器件表面加镀Si02?;つつ芴岣咂骷煽啃约拔露任榷ㄐ?。 展开

    四硼酸锂 声表面波滤波器 干法刻蚀 Si02 温度特性

    无线无源声表面波温度传感器的标定 收藏

    期刊: 压电与声光 刊期: 2015年第1期 作者: 汪永为,韩宇林,韩 韬 阅读量: 870

    声表面波温度传感器由于其纯无源、长寿命等特性受到越来越广泛的关注和应用。制作好的声表面波温度传感器需进行精确而有效的标定,以保证传感器的准确性。由于传感器回波频率方差受无线信噪比的影响,用尽可能少的温度点来获得传感器回波频率和测量温度映射关系的方法是很重要的。该文利用蒙特卡洛仿真法,结合回波信号频率统计分布特征,讨论了标定点位置与个数和标定精度之间的关系,实现了传感器满量程测温精度优于1%。此外,还提出“一点校准”法来消除传感器在实际装配后由于位置变化而产生的影响,避免了设计差动结构的传感器。 展开

    声表面波 蒙特卡洛 标定 温度传感器

    耦合型超薄悬臂梁阵列释放工艺分析 收藏

    期刊: 压电与声光 刊期: 2015年第1期 作者: 魏晓玮1,2,苗 斌1,李加东1,吴东岷1 阅读量: 3197

    针对耦合型超薄悬臂梁阵列释放过程中发生的粘附现象,采用背面湿法腐蚀的释放工艺,研究了液体 表面张力对悬臂梁释放时的影响。通过改变悬臂梁释放时的液体环境和清洗方法,降低液体表面张力,避免悬臂  梁的粘连,成功制备出长为220 t_'m,宽为io r_'m,厚为220 nm的超薄悬臂梁,成品率可达100%。 展开

    超薄悬臂梁 释放工艺 粘附现象 表面张力

    基于DDS和Taylor加权发射波束形成研究 收藏

    期刊: 压电与声光 刊期: 2015年第1期 作者: 马星星,何正耀,马聪聪 阅读量: 1557

    提出了一种对水声换能器基阵的发射波束进行优化控制的方法。首先,根据Taylor加权的计算公式,计算出可获得低旁瓣波束各阵元的幅度加权系数;然后,应用直接数字频率合成( DDS)技术设计出每个阵元偏移一定相位的发射信号;最后,结合高性能现场可编程门阵列(FPGA)技术,设计了8元直线阵的发射波束形成。仿真计算和实验结果表明,文章设计的方法不仅能实现低旁瓣的发射波束,还能很精确地控制发射波束角度,为以后的实际工程实现提供了参考方案。 展开

    直接数字频率合成(DDS) Taylor加权 浮点数乘法 现场可编程门阵列(FPGA) Wallace树型结构

    钆镓石榴石纳米粉体的合成过程研究 收藏

    期刊: 压电与声光 刊期: 2015年第1期 作者: 庞慧娇,贾利军,李曼谦,任仲慧 阅读量: 2621

    研究了工艺条件对氨水一碳酸氢铵共沉淀法合成钆镓石榴石( Gd3 Gas 012,GGG)纳米粉体的微观结构和物相变化的影响,并利用热重一差示扫描量热分析( TG-DSC)、X线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、红外光谱分析(IR)等测试手段对前驱体及烧成粉体的结构和形貌进行了分析表征。结果表明,采用正滴定方式,在750~800℃下煅烧4h可得到粒度小于100 nm纯相GGG粉体(未见任何其他中间相),属于立方晶体结构,其空间群为Ia3d,晶格常数a=l. 237 58 nm。该粉体具有良好的分散性和烧结活性。 展开

    钆镓石榴石(Gd3 Gas 012) 共沉淀法 纳米粉

    光声 谱仪微弱信号检测电路的低噪声设计 收藏

    期刊: 压电与声光 刊期: 2015年第1期 作者: 赵彦东,方勇华,刘家祥,王安静 阅读量: 2500

    光声光谱技术在变电站SF6气体分解产物,医疗诊断等场合的微量气体检测方面有着高灵敏度的特点。根据低噪声电子设计理论,设计了基于光声光谱探测技术的低噪声检测电路;从整个系统的角度出发,通过噪声模型对系统噪声和信噪比进行计算,对电路进行分析并使用集成运算放大器设计前置放大电路和信号调理电路。实验测试结果表明,该检测电路可稳定的将光谱仪的光声信号转换为电信号,电路信噪比高,可靠性高且稳定性高。 展开

    光声光谱 微弱信号 前置放大 低噪声 噪声模型

    基于MATLAB的声表面波标签数据采集与处理 收藏

    期刊: 压电与声光 刊期: 2015年第2期 作者: 锐1,陈智军1,李庆亮2,蒋 玲1,王昕辰1 阅读量: 3091

    利用Matlab控制数字示波器,实现声表面波一射频识别(SAW-RFID)系统数据采集的功能,以获取示波器采集的标签编码回波信号。上位机在Matlab上进行了显示界面的设计,利用最大相关法对采集的回波信号作算法解调处理,最终完成了声表面波射频识别系统的搭建。 展开

    声表面波(SAW) 射频识别(RFID) MATLAB 示波器 数据采集 数据处理

    基于压电阻抗的混凝土裂缝深度发展定量研究 收藏

    期刊: 压电与声光 刊期: 2014年第1期 作者: 蔡金标 阅读量: 1361

    混凝土结构是土木工程领域使用最广的结构形式,裂缝是其损伤的主要形式。该文基于压电阻抗(EMD监测技术,对混凝土立方体标准试块裂缝深度的定量发展进行了监测。制作150 mm×150 mm×150 mm标准试块,将压电片(PZT)粘贴于试块表面,用精密阻抗分析仪HP4294A提取压电片在混凝土试块健康状况和不同损伤工况下的电导纳信号,并分析二者的联系。实验结果表明,随着裂缝损伤的发展,压电片电导纳频谱发生了变化;压电片一粘结层一主体结构耦合系统的共振频率及电导信号峰值能表征混凝土裂缝深度的发展,但其存在稳定性缺陷;传统损伤指标中,绝对比例平均偏差( MAPD)和均方根偏差(RMSD)比相关系数(CCD)更适于监测混凝土裂缝的出现,而CCD则比MAPD和RMSD更适于定量分析裂缝的友展。此外,该文还得到了混凝土试块裂缝发展时损伤参数的具体数值,可供EMI健康监测实际应用时参考。 展开

    压电阻抗 结构健康监测 混凝土 裂缝 定量研究

    面向精密平台的压电堆执行器动态特性研究 收藏

    期刊: 压电与声光 刊期: 2015年第2期 作者: 王 渊,浮 洁,李沛东,邢志伟,余 淼 阅读量: 1865

    设计了压电堆执行器在空载与受约束条件下的测试系统,在不同频率交流电压驱动下测得执行器的最大输出位移和输出力分别为36.9r_'m和669.5 N。根据测试结果辨识出执行器动态工作时的等效刚度为20.9 N/tim。此外,对压电堆执行器的阶跃响应及迟滞特性进行测试。阶跃响应测试结果表明执行器的上升时间约为3 ms,稳定时间约为5 ms,响应速度能够满足精密平台振动控制的要求。迟滞特性的分析结果表明在精密平台振动控制中需考虑迟滞非线性对控制精度的影响。 展开

    压电堆执行器 动态特性 等效刚度 阶跃响应 迟滞特性

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